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![]() 衬底偏压对大功率脉冲磁控溅射TiAlSiN涂层组织和力学性能的影响
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期刊:Surface & Coatings Technology 作者:Chayan Ranjan Das; Mufaddal Rangwala; Amitava Ghosh 出版日期:2023-02-24 |
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