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标题
Revolutionizing Chemical Mechanical Polishing with Machine Learning: A Comprehensive Review of Challenges and Opportunities
利用机器学习彻底改变化学机械抛光:挑战和机遇的全面回顾
网址
DOI
10.1007/s11831-025-10324-6 doi
其它 期刊:Archives of Computational Methods in Engineering
作者:Jiakai Zhou; Xinhuan Niu; Ziliang Liu; Qing Ma; Jiahui Li; et al
出版日期:2025
求助人
晗哥 在 2025-08-15 16:45:53 发布自天津,悬赏 10 积分
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