Revolutionizing Chemical Mechanical Polishing with Machine Learning: A Comprehensive Review of Challenges and Opportunities

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标题	Revolutionizing Chemical Mechanical Polishing with Machine Learning: A Comprehensive Review of Challenges and Opportunities 利用机器学习彻底改变化学机械抛光：挑战和机遇的全面回顾
网址	https://doi.org/10.1007/s11831-025-10324-6
DOI	10.1007/s11831-025-10324-6 doi
其它	期刊：Archives of Computational Methods in Engineering 作者：Jiakai Zhou; Xinhuan Niu; Ziliang Liu; Qing Ma; Jiahui Li; et al 出版日期：2025
求助人	晗哥在 2025-08-15 16:45:53 发布自天津，悬赏 10 积分
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