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 Arrays of Microplasma-assisted Atomic Layer Deposition and Etching Free Patterning of Ga2O3 Thin Film with Flexible DUV Photodetector 用柔性DUV光电探测器实现Ga2O3薄膜的微等离子体辅助原子层沉积和无刻蚀图案化
相关领域
微等离子体
材料科学
原子层沉积
光电子学
图层（电子）
蚀刻（微加工）
光电探测器
薄膜
基质（水族馆）
沉积（地质）
紫外线
镓
纳米技术
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物理
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期刊：Conference on Lasers and Electro-Optics 作者：Jin‐Hong Kim; Andrey E. Mironov; Dane J. Sievers; Sung‐Jin Park; J. G. Eden 出版日期：2021-01-01 |
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