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标题
Arrays of Microplasma-assisted Atomic Layer Deposition and Etching Free Patterning of Ga2O3 Thin Film with Flexible DUV Photodetector
用柔性DUV光电探测器实现Ga2O3薄膜的微等离子体辅助原子层沉积和无刻蚀图案化
相关领域
微等离子体 材料科学 原子层沉积 光电子学 图层（电子） 蚀刻（微加工） 光电探测器 薄膜 基质（水族馆） 沉积（地质） 紫外线 镓 纳米技术 等离子体 物理 冶金 生物 海洋学 地质学 古生物学 量子力学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1364/cleo_at.2021.jtu3a.86
DOI
10.1364/cleo_at.2021.jtu3a.86 doi
其它 期刊：Conference on Lasers and Electro-Optics
作者：Jin‐Hong Kim; Andrey E. Mironov; Dane J. Sievers; Sung‐Jin Park; J. G. Eden
出版日期：2021-01-01
求助人
峥嵘 在 2025-11-12 09:12:28 发布自河南，悬赏 10 积分
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