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 Study of hafnium oxide thin films deposited by RF magnetron sputtering under glancing angle deposition at varying target to substrate distance 不同靶基距下掠射角射频磁控溅射氧化铪薄膜的研究
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期刊：Applied Surface Science 作者：S. Maidul Haque; K. Divakar Rao; J. S. Misal; R.B. Tokas; D. D. Shinde; et al 出版日期：2015-06-23 |
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