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标题
Design of novel plasma reactor for diamond film deposition
新型金刚石膜沉积等离子体反应器的设计
相关领域
钻石 微波食品加热 等离子体 时域有限差分法 材料科学 化学气相沉积 有限元法 沉积（地质） 离子源 光电子学 核工程 等离子体增强化学气相沉积
网址
https://doi.org/10.1016/j.diamond.2011.01.046
DOI
10.1016/j.diamond.2011.01.046 doi
其它 期刊：Diamond and Related Materials
作者：Xiaojing Li; Weizhong Tang; S.W. Yu; S.K. Zhang; G.C. Chen; et al
出版日期：2011-04-01
求助人
fangting 在 2025-08-22 09:36:34 发布自江苏，悬赏 10 积分
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