Synergistic optimization of plasma uniformity and active species density in MPCVD systems: A study based on multiphysics simulation and response surface methodology

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标题	Synergistic optimization of plasma uniformity and active species density in MPCVD systems: A study based on multiphysics simulation and response surface methodology
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2026.115568
DOI	10.1016/j.vacuum.2026.115568 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Gang Yuan; Junkui Zhu; Sen Ming; Guoling Peng; Huanwei Duan; et al 出版日期：2026-10-01
求助人	Tim 在 2026-11-05 02:09:15 发布自澳大利亚，悬赏 10 积分
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