An Active Aerostatic Spindle with an Axial-Positioning Actuator for Machining Ultra-Micro Scale Structures(Precision positioning and control technology)

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标题	[高分] An Active Aerostatic Spindle with an Axial-Positioning Actuator for Machining Ultra-Micro Scale Structures(Precision positioning and control technology)
网址	http://dx.doi.org/10.1299/jsmelem.2005.3.1015
DOI	10.1299/jsmelem.2005.3.1015 doi
其它	期刊：Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21 作者：Tadahiko SHINSHI; Yusuke INAMI; Hitoshi HASHIZUME; Kaiji SATO; Akira SHIMOKOHBE 出版日期：2005-01-01
求助人	XIAOconglin 在 2026-11-04 16:21:35 发布自辽宁，悬赏 150 积分
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