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标题
Analysis of Material, Design & LER of Advanced BEOL Metal Lines Using Process Modeling
网址
http://dx.doi.org/10.1109/iitc/mam57687.2023.10154880
DOI
10.1109/iitc/mam57687.2023.10154880 doi
其它 期刊：2023 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) and IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (MAM)(IITC/MAM)
作者：Daebin Yim; Benjamin Vincent
出版日期：2023-05-01
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英吉利25 在 2026-10-20 15:31:25 发布自天津，悬赏 10 积分
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    Juvenilesy Juvenilesy Lv910 上传了文件

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  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:31:29 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
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  • 1天前

    英吉利25 英吉利25 Lv6 求助人 发起了本次求助

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