Recent Progress in Silicon Photonics R&D and Manufacturing on 300mm Wafer Platform

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标题	Recent Progress in Silicon Photonics R&D and Manufacturing on 300mm Wafer Platform 相关领域光子学硅光子学绝缘体上的硅薄脆饼硅晶圆规模集成材料科学光子集成电路光电子学纳米技术工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1364/ofc.2015.w3a.1
DOI	10.1364/ofc.2015.w3a.1 doi
其它	期刊：Optical Fiber Communication Conference 作者：F. Boeuf; S. Cremer; E. Temporiti; M. Fere’; M. Shaw; et al 出版日期：2015-01-01
求助人	开心德地在 2026-11-09 22:00:03 发布自巴西，悬赏 10 积分
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