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标题
High power 120W ArF immersion XLR laser system for high dose applications
相关领域
材料科学 浸没式光刻 光电子学 薄脆饼 准分子激光器 极紫外光刻 激光器 平版印刷术 光学 纳米技术 抵抗 物理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.2012681
DOI
10.1117/12.2012681 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：R. Rokitski; Robert J. Rafac; J. Melchior; R. Dubi; Joshua Thornes; et al
出版日期：2013-04-11
求助人
向中恶 在 2026-01-16 11:04:58 发布自广东，悬赏 20 积分
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