发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Microwave Plasma Etching Treatment for Single Crystal Diamond
单晶金刚石的微波等离子体刻蚀处理
相关领域
钻石 蚀刻（微加工） 等离子体刻蚀 等离子体 微波食品加热 单晶 固体物理学 材料科学 人造金刚石 纳米技术 反应离子刻蚀 光电子学 化学 复合材料 结晶学 凝聚态物理 物理 计算机科学 核物理学 电信 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1007/s11664-022-09735-z
DOI
10.1007/s11664-022-09735-z doi
其它 期刊：Journal of Electronic Materials
作者：Xiaotong Han; Yan Peng; Xiwei Wang; Peng Duan; Xiufei Hu; et al
出版日期：2022-06-18
求助人
坚定的鼠标 在 2025-12-03 19:02:02 发布自宁夏，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Low-temperature reactive ion etching and microwave plasma etching of silicon
  2. Deep plasma etching of glass with a silicon shadow mask
  3. Chromium oxide as a hard mask material better than metallic chromium
  4. Residue‐Free Reactive Ion Etching of Silicon Carbide in Fluorinated Plasmas: II .
  5. Dry etching for pattern transfer
  6. Hydrogen Plasma Etching of Organics
  7. Selective etching of SiO2 relative to Si by plasma reactive sputter etching
  8. Microfabrication Technique by Gas Plasma Etching Method
  9. Damage induced by CHF3+C2F6 plasma etching on Si-implanted GaAs(100)
  10. Quantification Of Laser Interference Fringes As Applied To Plasma Etch Endpoint Detection
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 1小时前

    浮游 浮游 Lv1216 上传了文件

    待审核 s11664-022-09735-z.pdf (1.43 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 3小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    19:02:06 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    19:02:03 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    19:02:02 已向机器人发送请求

  • 3小时前

    坚定的鼠标 坚定的鼠标 Lv4 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
荷呵呵完成签到，获得积分10
1秒前
eric888的应助被阳光彩虹小牛马采纳，获得30
4秒前
4秒前
李健的应助被阳光彩虹小牛马采纳，获得10
4秒前
wanci的应助被阳光彩虹小牛马采纳，获得10
4秒前
4秒前
4秒前
热情香氛完成签到 ，获得积分10
5秒前
阳光问安完成签到 ，获得积分10
5秒前
弓长张发布了新的文献求助10
5秒前
Freya发布了新的文献求助50
5秒前
yujie完成签到 ，获得积分10
6秒前
6秒前
7秒前
xiaoxiao完成签到，获得积分10
8秒前
平淡的秋发布了新的文献求助10
8秒前
小蘑菇的应助被777采纳，获得10
8秒前
8秒前
8秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
9秒前
万能图书馆的应助被聪明鹤采纳，获得10
10秒前
11秒前
11秒前
米酒对瓶吹完成签到，获得积分10
13秒前
美好问枫完成签到，获得积分10
13秒前
浮游的应助被沈从云采纳，获得10
13秒前
xiaoxiao发布了新的文献求助10
14秒前
15秒前
香蕉觅云的应助被dali采纳，获得10
15秒前
张茜发布了新的文献求助10
15秒前
15秒前
科研通AI6的应助被景向采纳，获得10
15秒前
曲奇发布了新的文献求助10
15秒前
刘皮皮皮皮皮完成签到，获得积分10
16秒前
17秒前
研友_VZG7GZ的应助被微光熠采纳，获得10
17秒前
18秒前
香蕉觅云的应助被一一采纳，获得10
18秒前
嘿嘿的应助被天天采纳，获得10
18秒前
心灵美书瑶完成签到，获得积分20
19秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.).. Frederic G. Reamer 1070
The Complete Pro-Guide to the All-New Affinity Studio: The A-to-Z Master Manual: Master Vector, Pixel, & Layout Design: Advanced Techniques for Photo, Designer, and Publisher in the Unified Suite 1000
按地区划分的1,091个公共养老金档案列表 801
The International Law of the Sea (fourth edition) 800
Teacher Wellbeing: A Real Conversation for Teachers and Leaders 600
A Guide to Genetic Counseling, 3rd Edition 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5406987
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4524670
关于积分的说明 14099651
捐赠科研通 4438500
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2436317
邀请新用户注册赠送积分活动 1428326
关于科研通互助平台的介绍 1406372
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通