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Study of MIS structures based on CdHgTe and HfO2 applied by PEALD 相关领域
原子层沉积
X射线光电子能谱
材料科学
椭圆偏振法
碲化镉汞
等离子体
半导体
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Д. В. Горшков; Evgeniy R. Zakirov; G. Yu. Sidorov; I. V. Sabinina; D. V. Marin; et al 出版日期:2022-08-22 |
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