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 Bio-inspired anti-slip and anti-adhesion surface with hemispherical microstructures for wafer handling 用于晶圆处理的具有半球形微结构的仿生防滑和防粘表面
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期刊：Tribology International 作者：Jianming Wu; Keju Ji; Shaobao Liu; Tingwei Huo; Xipeng Wang; et al 出版日期：2023-12-09 |
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