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The in-situ parasitic microstructure interface and defect formation mechanism in (010) β-Ga2O3 epitaxial film via MOCVD 相关领域
材料科学
金属有机气相外延
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期刊:Science China. Materials 作者:Xianqiang Song; Yunlong He; Zhan Wang; Xiaoli Lu; Jing Zhi Sun; et al 出版日期:2025-01-02 |
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(2025-6-4)