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 Energy-Dispersive X-Ray Microanalysis – as a Method for Study the Aluminium-Polysilicon Interface after Exposure with Long-Term and Rapid Thermal Annealing 能量色散X射线显微分析——作为研究长期快速热退火后铝-多晶硅界面的方法
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期刊：Devices and Methods of Measurements 作者：U. A. Pilipenko; N. S. Kovalchuk; D. V. Shestovski; D. V. Zhyhulin 出版日期：2024-07-22 |
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