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标题
Assessing test pattern quality for etch modeling using neural network prediction stability
网址
https://doi.org/10.1117/1.JMM.25.3.031605
DOI
10.1117/1.JMM.25.3.031605 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology
作者：Francois Weisbuch; Nivea Schuch; Thiago Figueiro
出版日期：2026
求助人
天天 在 2026-06-04 22:35:05 发布自广东，悬赏 20 积分
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