| 标题 |
 Consequences of secondary electron emission on charging of SiO2 features in capacitively coupled plasmas having sinusoidal and tailored bias waveforms 相关领域
电子
原子物理学
二次排放
离子
等离子体
次级电子
电位
电场
各向同性
电介质
物理
电荷（物理）
电荷
材料科学
微电子
带电粒子
电容
波形
各向异性
分子物理学
容性耦合等离子体
粒子（生态学）
计算物理学
化学
等离子体刻蚀
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
wwww
Nole
无极微光
十一月1112
修仙中
AdamJie
学术文献互助
OK
arniu2008
Car66614
sagitar
huang
碧蓝明雪
aajhajkahna
Maestro_S
xing_xing
东方元语
Kao
aaaa
皖公网安备34019202002308
