In-chip microstructures and photonic devices fabricated by nonlinear laser lithography deep inside silicon

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标题	In-chip microstructures and photonic devices fabricated by nonlinear laser lithography deep inside silicon
网址	http://www.nature.com/articles/s41566-017-0004-4
DOI	10.1038/s41566-017-0004-4 doi
其它	期刊：Nature Photonics 作者：Onur Tokel; Ahmet Turnalı; Ghaith Makey; Parviz Elahi; Tahir Çolakoğlu; et al 出版日期：2017-09-18
求助人	寒冷冬卉在 2026-03-10 22:04:37 发布自河南，悬赏 10 积分
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