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Optimization of overshoot in the pulsed radio frequency inductively coupled argon plasma by step waveform modulation 相关领域
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Xiang-Yun Lv; Quan‐Zhi Zhang; Ke Jiang; Fei Gao; You‐Nian Wang 出版日期:2023-01-24 |
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