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  Development of a Piezoelectric-Driven XYθz Nano-Positioning Stage with High Load-Bearing Capacity Enabled by Over-Constrained Guiding Configuration 相关领域
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期刊：Micromachines 作者：Bin Liu; Lingchen Meng; Shuaishuai Lu; Wang Fei; Pengbo Liu; et al 出版日期：2025-04-30 |
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