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Dissolution kinetics of main-chain-scission-type resist in organic developers
主链断裂型抗蚀剂在有机显影剂中的溶解动力学
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网址
https://doi.org/10.35848/1882-0786/abd71b
DOI
10.35848/1882-0786/abd71b doi
其它 期刊：Applied Physics Express
作者：Ayako Nakajima; Keiko Matsuo; Takahiro Kozawa
出版日期：2020-12-28
求助人
JPL3729 在 2025-10-27 07:30:31 发布自河南，悬赏 10 积分
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