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Integration of Lateral Si/SiGe HBTs on Advanced FD-SOI Technology: Process Development and Challenges 先进FD-SOI技术上横向Si/SiGe HBT的集成:工艺发展与挑战
相关领域
绝缘体上的硅
光电子学
材料科学
过程(计算)
硅锗
工程物理
硅
计算机科学
工程类
操作系统
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期刊: 作者:Philippine Billy; Soumya Ranjan Panda; Nicolas Guitard; O. Weber; Alexis Gauthier; et al 出版日期:2025-01-19 |
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