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标题
Effect of Deposition and Annealing Temperatures on the Phase Composition of TiO2 Films Obtained by Atomic Layer Deposition from Titanium Tetrachloride and Water
沉积和退火温度对四氯化钛和水原子层沉积TiO2薄膜相组成的影响
相关领域
四氯化钛 原子层沉积 退火（玻璃） 钛 沉积（地质） 材料科学 四氯化物 化学工程 图层（电子） 无机化学 冶金 化学 纳米技术 地质学 古生物学 锡 沉积物 工程类
备注
正文部分
网址
https://doi.org/10.1134/s0022476625020088
DOI
10.1134/s0022476625020088 doi
其它 期刊：Journal of Structural Chemistry
作者：E. A. Khizhnyak; Vladimir R. Shayapov; I. V. Korolkov; С. И. Дудкина; Pavel Geydt; et al
出版日期：2025-02-01
求助人
小土豆 在 2025-06-23 13:52:35 发布自福建，悬赏 10 积分
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