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 Incorporation of beams into bossed diaphragm for a high sensitivity and overload micro pressure sensor 将梁结合到凸台膜片中用于高灵敏度和过载微压力传感器
相关领域
材料科学
超压
压力传感器
压阻效应
制作
体微机械加工
有限元法
振膜（声学）
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Zhongliang Yu; Yulong Zhao; Lu Sun; Bian Tian; Zhuangde Jiang 出版日期：2013-01-01 |
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