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![]() 公开用于3D NAND闪存的混合沟道(多晶硅/IGO)结构,用于改善单元电流和GIDL辅助擦除操作
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期刊:Small Structures 作者:Su‐Hwan Choi; Jae‐Min Sim; Jeongmin Shin; Seong‐Hwan Ryu; Taewon Hwang; et al 出版日期:2024-12-25 |
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