Enhancing Silicon Nitride Waveguide Performance: Optimization of Sidewall Roughness for Low-Loss Applications through Resist Reflowing via Tree-Based Modeling of relevant Processing Parameters

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标题	Enhancing Silicon Nitride Waveguide Performance: Optimization of Sidewall Roughness for Low-Loss Applications through Resist Reflowing via Tree-Based Modeling of relevant Processing Parameters
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI	10.1117/12.3017081 doi
求助人	胡涂图在 2026-09-16 10:13:30 发布自北京，悬赏 20 积分
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