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 Machine Learning Assisted Multiparameter Sensing via a Single Thermal Piezoresistive Membrane Resonator in Air 相关领域
压阻效应
电子工程
微电子机械系统
谐振器
多物理
压力传感器
解耦（概率）
稳健性（进化）
材料科学
电阻器
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热的
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计算机科学
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温度测量
信号处理
工作（物理）
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期刊：2026 IEEE 39th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 作者：Chen Wang; Jing Mi; Appo van der Wiel; Ben Maes; Michiel Gidts; et al 出版日期：2026-01-25 |
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