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标题
Stochastic simulation of pattern formation for chemically amplified resist in electron beam lithography
网址
https://doi.org/10.7567/1347-4065/ab0acd.
DOI
10.7567/1347-4065/ab0acd.doi:10.7567/1347-4065/ab0acd doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Masanori Koyama; Masamitsu Shirai; Hiroaki Kawata; Yoshihiko Hirai; Masaaki Yasuda
出版日期：2019
求助人
Guan 在 2026-08-19 16:38:35 发布自广东，悬赏 40 积分
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  • 26天前，求助关闭

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  • 26天前

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