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标题
Spectroscopic Analysis of NF3 Plasmas with Oxygen Additive for PECVD Chamber Cleaning
网址
http://dx.doi.org/10.3390/coatings13010091
DOI
10.3390/coatings13010091 doi
其它 期刊：Coatings
作者：Surin An; Sang Jeen Hong
出版日期：2023-01-03
求助人
雪碧 在 2026-11-02 13:48:14 发布自上海，悬赏 10 积分
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    雪碧 雪碧 Lv11 求助人 发起了本次求助

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