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  Analysis of Residual Stresses Induced in the Confined 3D NAND Flash Memory Structure for Process Optimization 相关领域
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期刊：IEEE Journal of the Electron Devices Society 作者：Eun-Kyeong Jang; Ik-Jyae Kim; Cheon An Lee; Chiweon Yoon; Jang-Sik Lee 出版日期：2022-01-01 |
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