Interface engineering of underlayer of chemically-amplified EUV photoresists to enhance the photolithographic performance

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标题	Interface engineering of underlayer of chemically-amplified EUV photoresists to enhance the photolithographic performance 相关领域极紫外光刻材料科学光刻接口（物质）抵抗纳米技术光电子学复合材料接触角坐滴法图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.mseb.2024.117539
DOI	10.1016/j.mseb.2024.117539 doi
其它	期刊：Materials Science And Engineering: B 作者：Tao Wang; Changchang Zhuang; Yang Guo; Hanshen Xin; Lin Jiang; et al 出版日期：2024-07-02
求助人	李露露在 2026-01-25 10:24:24 发布，悬赏 10 积分
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Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

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