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 Study on Wet Alkaline Chemicals Etching of Hole Dummy Polysilicon in 3d Multi-Layer Structure 相关领域
蚀刻（微加工）
图层（电子）
材料科学
光电子学
多晶硅耗尽效应
硅
复合材料
电气工程
工程类
栅氧化层
电压
晶体管
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期刊： 作者：Jiao Jin; Wenjun Chen; Chunying Guan; Hong‐Bo Sun; Chao Zhao; et al 出版日期：2025-03-24 |
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