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Ultrathin TaN Damascene Nanowire Structures on 300-mm Si Wafers for Quantum Applications
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网址
https://ieeexplore.ieee.org/ielx7/8924785/8961200/10163412.p...
AI链接 ieee.org ieee.org doaj.orgdoi.org
DOI
10.1109/tqe.2023.3289257 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Quantum Engineering
作者：Ekta Bhatia; Jack Lombardi; Soumen Kar; Michael Senatore; Stephen Olson; et al
出版日期：2023-01-01
求助人
Huang 在 2026-01-05 15:36:45 发布自江苏，悬赏 10 积分
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