(Invited) Metallizations for Advanced Interconnects and Challenges for Future Nodes

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标题	[高分] (Invited) Metallizations for Advanced Interconnects and Challenges for Future Nodes 相关领域铜互连互连材料科学缩放比例导线光电子学生产线后端可靠性（半导体）工程物理导电体晶体管电子工程电气工程计算机科学工程类电介质复合材料物理电信功率（物理）电压量子力学数学几何学
网址	https://doi.org/10.1149/ma2022-0215809mtgabs
DOI	10.1149/ma2022-0215809mtgabs doi
其它	期刊：Meeting abstracts 作者：Marleen H. van der Veen; Jan Delabie; N. Heylen; Olalla Varela Pedreira; Nicolas Jourdan; et al 出版日期：2022-10-09
求助人	Mr_龙在天涯在 2026-02-03 20:01:03 发布自上海，悬赏 100 积分
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