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标题
Investigation on femtosecond laser combined with dynamic wet etching machining of SiC/SiC
飞秒激光结合动态湿法刻蚀SiC/SiC的研究
相关领域
材料科学 飞秒 机械加工 蚀刻(微加工) 激光器 复合材料 腐蚀 碳化硅 碳化物 各向同性腐蚀 冶金 光学 物理 图层(电子)
网址
DOI
10.1016/j.jeurceramsoc.2024.04.066 doi
其它 期刊:Journal of The European Ceramic Society
作者:Xiaoqi Li; Songmei Yuan; Ning Zhou; Jiayong Wei; Mengxuan Gao; et al
出版日期:2024-04-29
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