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Investigation on femtosecond laser combined with dynamic wet etching machining of SiC/SiC 飞秒激光结合动态湿法刻蚀SiC/SiC的研究
相关领域
材料科学
飞秒
机械加工
蚀刻(微加工)
激光器
复合材料
腐蚀
碳化硅
碳化物
各向同性腐蚀
冶金
光学
物理
图层(电子)
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期刊:Journal of The European Ceramic Society 作者:Xiaoqi Li; Songmei Yuan; Ning Zhou; Jiayong Wei; Mengxuan Gao; et al 出版日期:2024-04-29 |
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