Monte-Carlo-based analysis of local CD variation and application to establish realistic process and tool error budgets

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标题	Monte-Carlo-based analysis of local CD variation and application to establish realistic process and tool error budgets 相关领域工艺变化蒙特卡罗方法临界尺寸晶体管计算机科学过程（计算）算法模具（集成电路）节点（物理）电子工程数学工程类统计物理光学电气工程结构工程操作系统电压
网址	https://doi.org/10.1117/12.534351
DOI	10.1117/12.534351 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：James W. Blatchford; Cathy Fruga; James W. Blatchford; Cathy Fruga 出版日期：2004-05-28
求助人	龙天宇在 2025-11-05 20:58:53 发布自浙江，悬赏 20 积分
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