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Annealing effects on post-deposition β-Ga2O3 thin film prepared through radiofrequency magnetron sputtering 退火对射频磁控溅射制备β-Ga2O3薄膜后沉积的影响
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期刊:International Journal of Nanotechnology 作者:L. P. Zhou; Yang Lai; Fashun Yang; Xu Wang; Kui Ma 出版日期:2024-01-01 |
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