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 Effects of Ethylene/Nitrogen Mixtures on Thermal Chemical Vapor Deposition Rates and Microstructures of Carbon Films 乙烯/氮气混合物对碳膜热化学气相沉积速率和微观结构的影响
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Liang-Hsun Lai; Kejie Huang; Sham‐Tsong Shiue; Jing‐Tang Chang; Ju‐Liang He 出版日期：2012-01-01 |
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