Epitaxial growth of high quality TiN thin film on Si by laser molecular beam epitaxy

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标题	Epitaxial growth of high quality TiN thin film on Si by laser molecular beam epitaxy 激光分子束外延在Si上外延生长高质量TiN薄膜相关领域材料科学锡薄膜分子束外延外延基质（水族馆）光电子学脉冲激光沉积表面粗糙度纳米技术复合材料图层（电子）冶金海洋学地质学
网址	https://doi.org/10.7498/aps.57.1236
DOI	10.7498/aps.57.1236 doi
其它	期刊：Acta Physica Sinica 作者：Meng He; Guozhen Liu; Qiu Jie; Jie Xing; Lü Hui-Bin 出版日期：2008-01-01
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