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标题
Atomic-resolution lithography with an on-chip scanning tunneling microscope
用片上扫描隧道显微镜进行原子分辨率光刻
相关领域
微电子机械系统 平版印刷术 扫描隧道显微镜 材料科学 光电子学 抵抗 纳米光刻 下一代光刻 纳米技术 炸薯条 电子束光刻 制作 电气工程 工程类 病理 医学 替代医学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001826
AI链接 osti.govdoi.org
DOI
10.1116/6.0001826 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science and technology
作者：Afshin Alipour; Emma L. Fowler; S. O. Reza Moheimani; James H. G. Owen; John N. Randall
出版日期：2022-04-25
求助人
张键豪 在 2025-09-13 18:52:24 发布自云南，悬赏 10 积分
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