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Optical characterization of hydrogenated amorphous silicon thin films deposited at high rate 高速沉积氢化非晶硅薄膜的光学特性
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期刊:Journal of Electronic Materials 作者:S.H. Lin; Y. C. Chan; D.P. Webb; Yun Wah Lam 出版日期:1999-12-01 |
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