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 The low temperature growth of stable p-type ZnO films in HiPIMS HiPIMS中稳定p型ZnO薄膜的低温生长
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
化学
溅射
纳米技术
薄膜
溅射沉积
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期刊：Plasma Science and Technology 作者：Qian Li; Minju Ying; Zhongwei Liu; Lizhen Yang; Qiang Chen 出版日期：2021-05-28 |
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