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标题
Surface Chemical Reactions During Atomic Layer Deposition of Zinc Oxynitride (ZnON)
氮化锌原子层沉积过程中的表面化学反应
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网址
https://doi.org/10.1007/s13391-023-00467-8
DOI
10.1007/s13391-023-00467-8 doi
其它 期刊：Electronic Materials Letters
作者：Tran Thi Ngoc Van; Bonggeun Shong
出版日期：2023-11-10
求助人
bvbbbbc 在 2025-08-26 13:23:27 发布，悬赏 10 积分
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