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 Piezo stepping actuator design with macrometer range and sub micrometer precision 具有宏观量程和亚微米精度的压电步进驱动器设计
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期刊：Materials Today: Proceedings 作者：R.K. Veeresha; Mohammed Hasan Azmal; Muralidhara 出版日期：2021-09-13 |
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