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![]() 在连续直拉(CCz)硅晶体生长过程中通过双分区控制热、流动和氧传输
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Thi-Hoai-Thu Nguyen; Jyh-Chen Chen; Chun-Hsien Li 出版日期:2023-03-01 |
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