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标题
Fabrication of TiN coatings using superimposed HiPIMS and MF technique: Effect of target poisoning ratios and MF/HiPIMS pulse on-time ratio
使用叠加HiPIMS和MF技术制备Ti涂层：目标中毒比和MF/HiPIMS脉冲时间比的影响
相关领域
高功率脉冲磁控溅射 锡 材料科学 微观结构 薄膜 溅射沉积 分析化学（期刊） 溅射 冶金 纳米技术 化学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2023.130364
DOI
10.1016/j.surfcoat.2023.130364 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：Bih-Show Lou; Muthaiah Annalakshmi; Yu-Wen Su; Wun-Sian Yang; Jyh‐Wei Lee
出版日期：2024-01-08
求助人
Nickname 在 2025-07-17 13:25:30 发布，悬赏 10 积分
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