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 Fabrication of TiN coatings using superimposed HiPIMS and MF technique: Effect of target poisoning ratios and MF/HiPIMS pulse on-time ratio 使用叠加HiPIMS和MF技术制备Ti涂层：目标中毒比和MF/HiPIMS脉冲时间比的影响
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
锡
材料科学
微观结构
薄膜
溅射沉积
分析化学（期刊）
溅射
冶金
纳米技术
化学
色谱法
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Bih-Show Lou; Muthaiah Annalakshmi; Yu-Wen Su; Wun-Sian Yang; Jyh‐Wei Lee 出版日期：2024-01-08 |
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