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 Corrosion Inhibitors in Sodium Periodate Slurry for Chemical Mechanical Planarization of Ruthenium Film 钌膜化学机械平坦化用高碘酸钠浆料中的缓蚀剂
相关领域
化学机械平面化
高碘酸钠
材料科学
钌
腐蚀
泥浆
无机化学
螯合作用
抛光
核化学
冶金
化学
有机化学
复合材料
催化作用
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| 其它 |
期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Hao Cui; Jin-Hyung Park; Jea‐Gun Park 出版日期：2013-01-01 |
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