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 Simulations of E-H mode transition in inductively coupled plasmas via 2D particle-in-cell/Monte Carlo collision method 2D胞内粒子/Monte Carlo碰撞法模拟感应耦合等离子体中E-H模式转变
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Zhaoyu Chen; Zili Chen; Yu Wang; Wei Jiang; Yong Hua Ding; et al 出版日期：2025-09-10 |
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