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 Synergistic leveling effects and mechanisms of fluorine-substituted heterocyclic derivatives with electroplating additives for high-density interconnect through-silicon via 相关领域
吸附
氟
铜
密度泛函理论
苯
化学
分子
材料科学
化学工程
成核
产量（工程）
计算化学
互连
高分子
化学机械平面化
苯衍生物
有机化学
组合化学
试剂
无机化学
图层（电子）
单晶
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期刊：Applied Surface Science 作者：Yuli Zhan; Haoying Liu; Haixiao Hu; Yusa Geng; Yuanyuan Xu; et al 出版日期：2026-04-24 |
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