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标题
A study of Boron Concentration Uniformity in Selective Epitaxial Growth for SiGe HBT
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/11215/36114/01715974.pdf...
DOI
10.1109/istdm.2006.246605 doi
其它 期刊：2006 International SiGe Technology and Device Meeting
作者：S. Eguchi; I. Miyashita; Y. Kagotoshi; H. Toyoda; A. Kanai; N. Machida
出版日期：2008-07-18
求助人
TomJarvis 在 2026-05-25 10:41:06 发布自江苏，悬赏 10 积分
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